襄樊仪表元件厂采用反渗透+混合床工艺制取高纯水，用于硅片清洗。主要技术指标：

      反渗透产水量≥6T/H，脱盐率≥98%，水利用率≥75%，产水电导率≤5μS/cm。

      混合床离子交换系统：产水量≥10～12 M3/H，产水电阻率≥17MΩ·CM（25℃）。

      实际生产运行中，单级反渗透产水电导率为1.98μS/cm，混合床离子交换系统单级出水即达到17.23MΩ·CM，完全满足厂方生产制造的用水需要。

反渗透+混合床工艺

移出式再生装置

预◤处理及混合床

反渗透主机

单级反渗透产水电导率1.98μS/cm

混合床产水电阻率17.23MΩ·cm